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检测分析系统
Ø精准检测：采用气相色谱 / 激光光谱技术，可精准捕获 ppb/ppt 级超痕量杂质
Ø稳定可靠：流路选用 316L 不锈钢（全脱脂）+EP 级材质，VCR 焊接实现泄漏率≤1×10-¹⁰Pa*m3/s，避免样本污染，确保检测数据真实可靠
Ø安全联动：配置安全联锁与防呆设计，气体泄漏时自动触发报警并切断气源，从源头降低特气检测过程的安全隐患
Ø自动化控制：集成自动吹扫、取样功能，通过 PLC+HMI 实现多流路切换，支持多取样点循环监测
Ø原料气纯度分析：监测电子级、5N以上高纯气体中的痕量杂质
Ø工艺气体在线监测：在线监测纯化过程工艺气体杂质含量
Ø产品气纯度分析：监测混合气成分浓度、杂质含量，确保配比准确